微小尺寸测量是一个正在迅猛发展的領域。随着科学技术的进步,对微小尺寸的测量要求越来越迫切。很多相距很远的科学部门,从机械工业、电子工业到生物工程以及环境保护等;从尖端科学的热核反应到日常生活中的化学纤维,都有微小尺寸测量问题。而要求进行微小尺寸测量的物体,从尺寸、几何形状和作用来说也是各种各样的。球面型的物体包括制导系统的毫米级大小的轴承,激光核聚变中的100m的玻璃小球,化学处理10ym的小滴,涂层和血液分析中亚微米级聚合物,以及造成各种污染的大量不规则的01-100m的粒子。平面型物体包括微米大小的集成电路元件、电子束刻划的001pm量级的电子器件中的元件、磁泡记忆器等装置中的亚微米线条、磁头继隙以及电子束、激光或其他方法加工的直径小到1m的尺寸等。尽管微小尺寸测量的对象各种各样,测量方法也不尽相同,但这类测量仪器的共同特点是:测量范围小,分辨力及精度要求高,自动化程度要求高,因此难度大。

随着科学技术和工业生产的发展,产品的小型化或微型化越来越成为一个重要分支,因而微小尺寸的测量越来越多;被测对象也多样化。如细丝、小孔、小球面、键层厚度、计算机中磁头一磁盘间的微小间隙等等。面对这些测量任务,迫切地要求提出新的测量原理和方法。